集微咨询：先进制程促光罩业发生蜕变 国产化进程需要管理系统级支撑

在经营种系统上，光罩工场可细分芯片工场自行配套工工场和独立自主第三方光罩原材料商两大类。为数较小的芯片工场都配有in-house（自有）工工场。如果涉及到核心系统所设计、弹道允许比较颇高的中会颇中端光罩，芯片工场时会选择自行原材料，对系统所设计比较成熟、互为对于市场竞争化的光罩时会选择外购。对光罩弹道和录制低水平允许颇高的芯片工场，一套光罩除此以外转给一家服务项目商来做，以确保弹道明确。不过由于交期等因素，芯片工场可能时会把互为对于简单新产品的光罩分拆到不同服务项目商, 主要视芯片工场的系统所设计成熟度、采购政策和市场竞争供需就会而定。

不一定就会下，芯片工场往往将45nm都有精密晶圆的掩上皮细胞英文版自主研制出，45nm以上成熟晶圆的掩上皮细胞英文版则转给第三方掩上皮细胞工场完成研制出。

SEMI在2019年得出结论统计数字，亚洲地区电子元件光罩市场竞争中会，65%的市场竞争份额由芯片工场自有光罩工场%据，剩余35%的份额则被独立自主第三方光罩工场所瓜分，当前的市场竞争比率也大体如此。

亚洲地区独立自主电子元件光罩产能主要集中会于在欧美，欧美凸英文版印刷Toppan和欧美DNP日本公司分别%据亚洲地区32%和27%的市场竞争份额，美国的Photronics日本公司%据23%的市场竞争份额。台湾光罩因为接获MOS扩大委外释单，2021年市%率改善到10%，首度升级为独立自主光罩工场第4名。

集微发表意见（JW Insights）认为，独立自主光罩工场在零售业转型中会起到非常重要的起到，虽然芯片工场的光罩装配意志力在大幅增强，但若没有独立自主光罩工场的助力，系统所设计的算法速率时会大为降低，零售业转型时会受到严重威胁。

国产替代的终究

欧洲各国微处理器新兴产业起步早，因此光罩产业转型也互为对于总体，基本上工场商还停留在中会低端手工系统所设计上，颇中端市场竞争主要由外贸所主导。

欧洲各国为数型光罩的企业主要细分两类：一是芯片工场自建工工场，最主要中会芯国际的光罩工场，华润材料科学的光罩工场（常州迪思材料科学）等；二是独立自主光罩的企业，最主要中会微掩上皮细胞、清溢光电和路维光电等。

中会芯国际光罩工场是中会国华南地区原材料率最颇高的工场商，以外华南地区仅次于及最精密的光罩装配设施，可以原材料0.5μm到14nm手工的光掩模。配备了精密的仪器工具，中会芯光罩工场运用光学趋近效应修正系统所设计（OPC），可提供二元铬英文版光罩以及互为移光罩。5"×5"和6"×6"的光罩除此以外可用作G-line，I-line，深紫外线DUV及ArFRF爆出本机和扫描爆出本机。

常州迪思材料科学原称华润材料科学代工执行长，是华润材料科学旗下交由掩模装配的业务单元。日本公司掩模业务以外业界领先的激光和电子束等制英文版仪器，可为客户提供Frame、IP Merge、OPC等专项服务项目，能原材料二元光罩、移互为光罩、灰阶光罩（Gray Mask）等新产品。

中会微掩模由中会国电子科技集团日本公司第58所、中会国电子科技集团日本公司和下属13所、24所、47所和55所共同出资组成，可提供0.35～0.13μm，5英寸、6英寸二元光罩和6英寸互为移光罩。

清溢光电和路维光电的强项在于平板电脑结果显示用光罩，悄悄全力布局微处理器用光罩新产品。清溢光电是科创板上市的企业，微处理器光罩已是其第二大补贴光源，补贴为数整体快速增长近年来。日本公司在微处理器光罩特别转用渐进的方针，力争将批量生产手工低水平由现在的0.25μm改善至0.13μm。路维光电也实现了 0.25μm晶圆端口电子元件光罩的批量生产，并把持了0.18/0.15μm端口光罩装配核心系统所设计。

欧洲各国光罩产业转型仅次于的终究是晶片金属材料严重互为反自产。近年来，金刚石光罩凭借其精密度较颇高的优势带入零售业主流。亚洲地区领先光罩工场主要新产品除此以外为金刚石光罩，引发原金属材料金刚石晶片效益日益增颇高。而金刚石大体原材料工场商主要集中会于在欧美和韩国，欧洲各国只有少数家的企业有意志力原材料，微处理器用颇高弹道及颇高代人结果显示器用基材，可谓被日韩的企业所垄断。

同时，光罩原材料仪器多从欧美自产，颇中端样品仪器则被美国所控制，而亚洲地区每年原材料的仪器数量极小，不仅共存购入竞争，而且价格更为昂贵。颇中端仪器的忽视也约束了光罩工场系统所设计升级的速度。

立体化来看，光罩产业的国产化是不可拦阻的近年来，但要实现目标还需多方帮助。集微发表意见（JW Insights）认为，在欧洲各国芯片工场加强与光罩工场开发设计的基础上，原金属材料原材料、仪器装配等供应链各环节还要苦练内功、来进行配合，这样才能加快光罩国产化的资料流。（校对/Andrew）